单工位粘片机
  • 可加工12寸及以下晶圆、异形片
  • 升级蜡仓具备抗凝蜡功能
  • 可实现自动粘片过程,并显示结果
  • 温控采用双温区独立控制温度
  • 最高工艺温度可达200℃,气囊采用耐高温材料
  • 气囊式软性加压,保护晶圆、无气泡粘片
  • 可实时监控温度、压力、真空度变化
  • 多工位同时独立工作,提高粘片效率

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