白光干涉显微镜MS1000
  • 具备纳米及纵向分辨率,满足超光滑表面测量分析
  • PSI / VSI/ 明场等多种测量模式
  • 载台可平移距离超200mm
  • 载台可调角度、位置、分辨率高
  • 简单、精确、快速、可重复性高
  • 聚焦定位激光辅助干涉条纹定位功能
  • 可支持不同倍率干涉物镜
  • 支持不同订制需求

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