
白光干涉显微镜MS1000
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具备纳米及纵向分辨率,满足超光滑表面测量分析
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PSI / VSI/ 明场等多种测量模式
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载台可平移距离超200mm
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载台可调角度、位置、分辨率高
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简单、精确、快速、可重复性高
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聚焦定位激光辅助干涉条纹定位功能
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可支持不同倍率干涉物镜
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支持不同订制需求