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首页 / 磨抛机 / 产品详情-研磨抛光设备GNAD-T
研磨抛光设备GNAD-T
  • 加工精度高，TTV≤2 um，RA：≤0.1 nm
  • 适用6寸以下及各类异形晶圆加工
  • 具备盘型蓝牙监控并自动修复功能
  • 夹具压力精度达到2g/cm²，可订制加压模块
  • 封闭式工作区，可适应高净化等级环境
  • 可编辑可存储至少100条工艺程序
  • 具备盘温监控、自动冷却等温度控制功能
  • 配备水枪、气枪等冲洗系统，高效清洁
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