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首页 / 磨抛机 / 产品详情-纯化学抛光设备CPI
纯化学抛光设备CPI
  • 适用于2寸、3寸、4寸、6寸、8寸等多种尺寸晶圆的纯化学抛光
  • 夹具可选择搭配不同重量的配重块，适用于不同材料的抛光工艺需求
  • 抛光后粗糙度变化值ΔRa≤±2nm
  • 夹板、夹具、偏心距等可根据客户需求订制
  • 机身小巧，方便拆装
  • 配备远程操作系统
  • 几乎为零的机械作用力实现无橘皮无划痕效应
  • 采用先进防腐材料和结构设计，达整机超强防腐
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