压力测试规
压力测试规可以精准的测量出晶圆背压力值，可接受高达10公斤的样品压力负载。数字显示，操作方便。确保工艺重复性和一致性。压力测试规测量精度是2g/c㎡，在磨抛工艺中压力得到精准控制。
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