金刚石凭借超高硬度(莫氏硬度 10)、优异导热性与化学稳定性,在半导体衬底、精密刀具、光学元件等领域有广泛应用。但金刚石的高硬度特性也使其加工难度显著高于普通材料,对抛光研磨设备的精度控制、压力调节、耗材适配有特定要求。北京艾姆希半导体科技有限公司依托在精密加工设备领域的技术积累,针对金刚石加工痛点定向研发的抛光研磨设备,为金刚石材料的高效、高质量加工提供了适配方案。
针对金刚石高硬度、脆性大的特性,北京艾姆希的金刚石抛光研磨设备配备 “柔性微压系统”,可实现 0.1N-50N 范围内的精准压力调节。加工过程中,设备根据金刚石工件的尺寸、厚度及加工阶段(粗磨、精磨、精抛)自动调整压力:粗磨阶段采用 “低压力、中转速” 模式,配合高硬度磨料实现高效去料,减少材料去除过程中的冲击损伤;精磨与精抛阶段切换为 “微压力、稳转速” 模式,通过压力反馈传感器实时修正压力输出,避免局部应力集中导致的金刚石表面裂纹或崩边,同时控制加工损伤层厚度在较小范围。
设备的磨抛盘采用特殊耐磨复合材料制成,经精密研磨处理后平面度误差控制在较低水平,确保金刚石工件研磨时受力均匀;磨抛盘驱动系统搭载高精度电机,转速调节范围覆盖 0rpm-120rpm,可根据金刚石加工需求实现平稳调速,进一步保障加工稳定性。
北京艾姆希凭借对金刚石材料加工特性的理解与技术实践,其金刚石抛光研磨设备在适配性、稳定性与易用性方面形成自身特色。未来,公司将继续聚焦金刚石加工领域的技术需求,投入研发,优化设备性能与工艺方案,为金刚石产业的发展提供适配的抛光研磨设备支持。