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设备组件

成熟的半导体材料制备技术,提供全面的研磨、抛光、CMP工艺解决方案

  • 驱动摆臂
  • 驱动摆臂

    MCF 驱动摆臂适用于我司精密磨抛设备样品加工使用,可根据用户样品加工的要求选择高速驱动系统或者低速驱动系统,也可为用户提供PM5、PM6、LP70等设备的定制摆臂。

  • 料桶
  • 料桶

    MCF 研磨料桶采用复合防腐材料制成,具有密封性能好,高强耐腐蚀性,适用于氧化铝研磨液、碳化硅研磨液、金刚石研磨液以及化学研磨液等强腐蚀性液体。

  • 精密磨抛夹具驱动环
  • 精密磨抛夹具驱动环

    MCF 精密夹具驱动环作为MCF精密夹具的重要组成部分,我们采用高强耐腐蚀材料,更换方便,大大延长了夹具总体使用寿命,降低夹具的使用成本。

  • 精密抛光盘
  • 精密抛光盘

    MCF 精密抛光盘主要采用复合金属材质制成,适用于我司精密抛光设备使用,同时可提供PM5、PM6、LP70等设备的定制精密抛光盘。

  • 玻璃研磨盘
  • 玻璃研磨盘

    MCF 玻璃研磨盘主要采用石英玻璃及复合金属材质制成,适用于我司精密研磨设备使用,同时可提供PM5、PM6、LP70等设备的定制玻璃研磨盘。

  • 玻璃修盘块
  • 玻璃修盘块

    MCF 玻璃修盘块主要采用石英玻璃及复合金属材质制成,配合我司玻璃研磨盘使用,同时可为PM5、PM6、LP70等设备用户提供定制玻璃修盘块。

  • 铸铁研磨盘
  • 铸铁研磨盘

    MCF 铸铁研磨盘主要采用铁及复合金属材质制成,适用于我司精密研磨设备使用,同时可为用户提供PM5、PM6、LP70等设备的定制铸铁研磨盘。

  • 铸铁修盘块
  • 铸铁修盘块

    MCF 铸铁修盘块主要采用铁及复合金属材质制成,配合我司铸铁研磨盘使用,同时可为PM5、PM6、LP70等设备用户提供定制铸铁修盘块。

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