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成熟的半导体材料制备技术，提供全面的研磨、抛光、CMP工艺解决方案
压力测试规可以精准的测量出晶圆背压力值，适用于SH系列夹具。有助于操作员精准设置样品负载，实现高质量的磨抛效果。
激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。该仪器可用于光学车间、实验室、计量室。
采用“气脉冲”式非接触测量，可以避免接触测量引起的表面损伤，特别适用于软脆材料及对样品表面质量要求高的样品测量，是半导体、光学及电光材料等非常理想的测量仪器。
采用接触测量，测量精度可实现 1 微米，仪器操作简单，性能稳定。适用于各种环境，底座耐酸耐碱，是半导体、光学及电光材料等常用的测量仪器。
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