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平整度测试仪

平整度测试仪数字显示，操作方便。确保工艺重复性和一致性，适用于全系产品。有助于操作员精准设置设备参数，实现高质量的磨抛效果。

  • 功能特点描述
  • 技术应用

    • 平整度测试仪数字显示，操作方便。确保工艺重复性和一致性。适用于全系产品，可根据用户需求定制平整度测试仪。

    • 平整度测试仪测量精度是1um，有益于III-V材料或者超薄易碎材料，在磨抛工艺中压力得到精准控制。

    • 适用的材料包括：
      • 硅基材料（Si，a-Si，poly Si）
      • III-V材料（GaAs、InP、GaSb等）
      • 第三代半导体材料（SiC、GaN 等）
      • 红外材料（CZT、MCT等）
      • 光电材料（LiNbO₃、LiTaO₃、SiO₂等）
      • 金属材料（Au、Cu、Al、Mo、TC4等）

    • 应用的范围包括:
      • MEMS
      • 半导体器件
      • 半导体衬底
      • 封装

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