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激光平面干涉仪
激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器,主要用于精密测量光学平面度。该仪器可用于光学车间、实验室、计量室。
功能特点描述
技术应用
测量方式:斐索干涉原理
通光口径:60mm
测试波长:635nm(半导体激光器)
对准方式:简单两点对准
对准视场:±0.5度
平面标准镜精度:PV:λ/10
适用的材料包括:
• 硅基材料(Si,a-Si,poly Si)
• III-V材料(GaAs、InP、GaSb等)
• 第三代半导体材料(SiC、GaN 等)
• 红外材料(CZT、MCT等)
• 光电材料(LiNbO₃、LiTaO₃、SiO₂等)
• 金属材料(Au、Cu、Al、Mo、TC4等)
应用的范围包括:
• MEMS
• 半导体器件
• 半导体衬底
• 封装
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