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激光平面干涉仪

激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器,主要用于精密测量光学平面度。该仪器可用于光学车间、实验室、计量室。

  • 功能特点描述
  • 技术应用
    • 测量方式:斐索干涉原理            
      通光口径:60mm                 
      测试波长:635nm(半导体激光器)   
      对准方式:简单两点对准             
      对准视场:±0.5度                  
      平面标准镜精度:PV:λ/10
    • 适用的材料包括:
      • 硅基材料(Si,a-Si,poly Si)
      • III-V材料(GaAs、InP、GaSb等)
      • 第三代半导体材料(SiC、GaN 等)
      • 红外材料(CZT、MCT等)
      • 光电材料(LiNbO₃、LiTaO₃、SiO₂等)
      • 金属材料(Au、Cu、Al、Mo、TC4等)
    • 应用的范围包括:
      • MEMS
      • 半导体器件
      • 半导体衬底
      • 封装

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