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压力测试规

压力测试规可以精准的测量出晶圆背压力值,适用于SH系列夹具。有助于操作员精准设置样品负载,实现高质量的磨抛效果。

  • 功能特点描述
  • 技术应用
    • 压力测试规可以精准的测量出晶圆背压力值,可接受高达10公斤的样品压力负载。数字显示,操作方便。确保工艺重复性和一致性。

       

       

       

       

    • 压力测试规测量精度是2g/c㎡,有益于III-V材料或者超薄易碎材料,在磨抛工艺中压力得到精准控制。

       
    • 适用于SH系列夹具,可根据用户需求定制压力测试规。
    • 适用的材料包括:
      • 硅基材料(Si,a-Si,poly Si)
      • III-V材料(GaAs、InP、GaSb等)
      • 第三代半导体材料(SiC、GaN 等)
      • 红外材料(CZT、MCT等)
      • 光电材料(LiNbO₃、LiTaO₃、SiO₂等)
      • 金属材料(Au、Cu、Al、Mo、TC4等)
    • 应用的范围包括:
      • MEMS
      • 半导体器件
      • 半导体衬底
      • 封装
    •                               

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