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高效晶圆磨抛设备应用实践
2025-12-17


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在半导体芯片、新能源功率器件等高端制造领域,晶圆加工的效率与精度直接决定产能与品质。面对碳化硅、氮化镓等硬脆材料加工中“效率低、损耗高”的行业痛点,北京艾姆希半导体科技有限公司(MCF)的高效晶圆磨抛设备已在多地生产车间落地应用,以成熟的实践成果验证技术价值,成为企业提质增效的核心支撑。


在某碳化硅衬底生产企业的应用中,传统设备加工一片8英寸碳化硅晶圆需耗时超90分钟,且崩边率达3%。引入艾姆希MP系列量产型磨抛设备后,这一局面彻底改变。该设备搭载四马达驱动系统,四个抛光头可同时处理48片2英寸晶圆,针对8英寸碳化硅的加工效率提升至每片45分钟以内。其集成的超声振动加工技术,通过高频微幅振动实现材料微观去除,使加工损伤层深度从传统工艺的50μm降至9μm,崩边率控制在0.5%以下。


针对不同材料的加工特性,艾姆希设备展现出强大的适配能力。在某光电企业的蓝宝石衬底加工线,设备通过智能系统自动匹配研磨液配方——粗抛阶段采用高浓度磨料提升去除率,精抛阶段切换纳米级磨料配合化学添加剂,实现原子级平整表面。触摸屏控制系统可存储300余种材料的加工参数,操作人员只需调用对应程序,即可完成从硅到氮化铝等多类晶圆的加工,换产时间缩短60%。


高效背后是严苛的精度控制体系。在江苏某半导体封装厂,艾姆希设备凭借在线光学检测系统,实时监测晶圆表面粗糙度与厚度误差,将加工精度控制在±1μm以内,完全满足Fan-Out封装对凸点高度一致性的要求。设备运行的车间环境经特殊管控,ISO 1级洁净标准配合研磨液循环系统,既避免颗粒污染导致的缺陷,又降低耗材损耗,帮助企业单片加工成本下降22%。


从半导体芯片制造到光电元件加工,艾姆希高效晶圆磨抛设备已服务近百家高端制造企业。这些应用实践证明,其“多片并行加工+智能参数适配+全程精度监测”的核心设计,既能破解硬脆材料加工难题,又能实现效率与成本的最优平衡。许多合作企业反馈,设备稳定运行率达98%以上,为规模化生产提供了可靠保障。


北京艾姆希以扎实的应用成果,让高效晶圆磨抛设备成为高端制造的标配。其从设备研发到工艺适配的全链条服务,不仅解决具体加工问题,更助力企业构建核心竞争力,为硬脆材料加工领域树立了高效生产的实践标杆。

 


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